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无尘class100烘箱,MES接口无尘烘箱

无尘class100烘箱,MES接口无尘烘箱

简要描述:

无尘class100烘箱,MES接口无尘烘箱用于IC,晶圆等电子、半导体、医疗行业高洁净度烘烤制程工艺

无尘class100烘箱,MES接口无尘烘箱技术参数:

用途

用于IC,晶圆等电子、半导体、医疗行业高洁净度烘烤制程工艺

温度范围

室温+10℃~250℃

温度波动度

恒温温度波动±0。5℃

温度均匀度

≤±2℃

工作室尺寸(mm)

450(深)*450(宽)*600(高)(可自定)

洁净度

Class100

气体过滤

配有气体过滤装置,保证腔体内洁净度为100级

隔板要求

每个腔体配二个隔板,用不锈钢板冲孔制成

箱体外壁材料

冷轧钢板静电喷塑(或SUS304)

箱体内壁材料

为不锈钢板内壁氩弧焊(SUS316或SUS304)

保温材料

优质超细纳米玻璃棉

氮气接口

能将箱内空气排出,确保烘烤的硅片是在氮气中进行

控制方式

人机界面+PLC控制

氮气流量

0.3~0.5M3/H(可选择具有流量偏低/偏高报警功能,并实时监控记录曲线)

超温保护

采用独立的超温保护装置,确保温度不超限;当保护装置动作时,超温保护装置自动切断加热电源并进行声光报警、控制仪采用LED显示且可调

计时方式

温度达到制程设定值后开始计时.

排风口

直径114mm的排风口,且安装有调节风阀

电气安全保护

风机过载保护、加热系统超温保护、电磁门锁保护、安全接地保护。

MES软件

可连接MES系统

作业时扫码可实现自动调取所需作业程序,作业员只需确认是否正确

自动记录作业累计次数,作业批号,作业人员,作业起止日期及时间,作业温度曲线,作业条件,可自动生成Excel报表

有权限操作员需扫码后才可操作此设备,且自动记录作业人员

 

无尘class100烘箱,MES接口无尘烘箱用途: 

   无尘烘箱用于IC生产过程中极为重要的光刻工艺中预烘烤(软烘),脱水烘烤,涂胶后的坚膜烘烤(硬烘);也适用于电子液晶显示、柔性面板、LCD、CMOS、OLED、医药、实验室等生产及科研部门。

 

 

 

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